Feinstaub entsteht auch aus Schadstoffen wie Stickoxiden, Schwefeldioxid und Ammoniak. Diese Stoffe können sich in der Luft durch verschiedene Vorgänge zu neuen Partikeln verbinden. Feinstaub wird nach seiner Grösse eingeteilt. Der Durchmesser in Mikrometern (µm) ist entscheidend: Partikel kleiner als 10 µm (PM10), Partikel kleiner als 2.5 µm (PM2.5), Partikel kleiner als 0.1 µm (Ultrafeine Partikel (UFP)).